招商证券：工艺升级提升需求 薄膜沉积电源国产替代有望加速

ECVD等沉积岩方法沉积岩效果实际，必需ALD生产工艺来沉积岩可靠性更佳的吸附并考虑到较才智宽比等需求量，在28nm以下FinFET/GAA结构上之此前，大部分有ALD生产工艺并能考虑到繁复灯丝结构上之此前吸附沉积岩要求。根据Acumen research and condulting预测，2020-2026年世界性ALD装置商品将从约20亿美元改善至32亿美元。但由于ALD沉积岩处理过程不连续，在沉积岩速率等方面不如其他CVD生产工艺，因此目此前大部分主要用途一些最初自适应节目，在并未成熟生产工艺节目无限期无法替代如LPCVD、PECVD等生产工艺。

吸附沉积岩装置商品主要被海外大厂垄断性，商品集之此前度更较高。吸附装置与此相反更较高，叠加海外子公司整体设计较早，因此世界性商品主要被AMAT、LAM、TEL等几家垄断性，国产转化率过剩5%。在PVD商品，AMAT是大部分大部分蟠龙；在CVD商品，AMAT、LAM、TEL三家近乎平分秋色；在ALD商品，意味着产业转化尤为应用的主要为TEL和ASM。

①AMAT：是世界性PVD装置大部分大部分蟠龙，在世界性PVD商品收益较高较将近85%；在CVD装置教育领域整体设计完善，世界性收益较将近30%，构成LPCVD、PECVD、ALD、ECD、EPI、HDP-CVD、FCVD等主流生产工艺，厂家尤为在低k颗粒等先进吸附教育领域上佳；

②LAM：控股公司诺发强转化CVD装置整体设计，世界性收益较将近21%。PECVD、ALD等CVD装置构成的颗粒吸附及生产工艺一般来说配套，在ECD热处理教育领域世界性一家独大；

③TEL：PVD/CVD装置民族特色整体设计，构成PVD、LPCVD、PECVD、M-CVD、ALD等装置；TEL在ALD商品有独特公平竞争优势，世界性收益较高较将近31%，在DRAM器件教育领域，世界性大部分TEL和KE(日立东芝)意味着了用ALD生产工艺沉积岩High-K颗粒层；

④ASM：厂家最主要LPCVD/PECVD/EPI/ALD，在ALD装置世界性商品收益较将近29%，是世界性唯一意味着用ALD生产工艺沉积岩较高k金属中灯丝产业转化尤为应用的厂商。

投资额要求：1)吸附沉积岩装置是矽装置教育领域非常优质的投资额比赛场地。①商品室内空间大：2021年商品室内空间的大200亿美元，大部分次于上会装置，从业者构成面是去除、离子注入和涂胶照相机等其他装置的数倍；②技术与此相反较高：吸附一般来说各有不同，同时生产工艺繁复，吸附沉积岩装置必需构成多种完均相同一般来说和可靠性的吸附，从业者上限更较高；③近期国产转化率更较高：2021年吸附沉积岩装置国产转化率大部可分5%差不多，相较上会(15-20%)，此前道去除(30%+)，还有很大国产替代室内空间。

2)欧美国家晶圆产线需求量增速原计划的大过从业者平均，欧美国家吸附沉积岩装置厂商差异转化整体设计。要求非议拓荆生物技术(688072.SH)、北方华创(002371.SZ)、之此前粗子公司(688012.SH)、盛美杭州(688082.SH)、粗导纳米等。

①拓荆生物技术：欧美国家CVD装置蟠龙，厂家构成PECVD/ALD/SACVD三大类，其之此前PECVD装置构成28nm以上均颗粒吸附，PE-ALD和SACVD意味着产业转化尤为应用并持续导向证明，Thermal-ALD系列产品早就研制。截至21Q3，拓荆在手订单的大15亿元，厂家在范式产线大幅放量、在存储产线收益爆发性改善，未来发展2022/2023年俱备很强持续增长涡轮；

②北方华创：欧美国家矽装置模拟器转化蟠龙，厂家构成PVD/LPCVD/PECVD/ALD/EPI等教育领域。子公司PVD装置在欧美国家商品收益第一，在Harmask、CuBS、Al pad等教育领域俱备很强公平竞争优势；LPCVD/PECVD主要主要用途太阳能教育领域，此前道IC装置也在加速导向之此前；Thermal-ALD在28nm节点意味着产业转化尤为应用，PE-ALD系列产品早就证明；

③之此前粗子公司：在世界性GaN LED用MOCVD装置收益较高较将近60%以上，2021年Mini LED MOCVD装置新签大构成面订单，有望贡献2022均年收入持续增长。子公司主要用途钨填充的LPCVD装置证明获得阶段性进展，同时组建EPI研制工作团队；

④盛美杭州：世界性少数意味着此前道热处理装置产业转化的子公司，逐步打破LAM垄断性，此前道铜互连热处理技术构成20-14nm节点。子公司LPCVD意味着不稳定的量产，其他CVD装置加速研制；

⑤粗导纳米：以ALD技术为两大，Thermal-ALD意味着了在较高k河桥氧转化层生产工艺上的突破与产业转化尤为应用，高端FeRAM的Thermal-ALD和第三代转中间体矽的PE-ALD早就产业转化证明。

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